自古以來，全省幾乎所有寺廟都建有碑刻。 五河山現(xiàn)存石刻近30處，其中清代碑刻3處。 碑文由底座、碑身和樓頂三部分組成。 樓身多為八角形，刻有道教格魯派真言。 碑文以旗幟造型為基礎(chǔ)，結(jié)合中國傳統(tǒng)建筑的變化。 旌旗除了是道教中常見的莊嚴(yán)法器外，也是唐代儀仗隊(duì)中不可或缺的莊嚴(yán)法器。
裝扇為八角經(jīng)筒，桿上纏絲織物，兩側(cè)各有佛經(jīng)或神像等書法圖案。 頂部有盤蓋，飾有垂簾、彩帶等飾物，桿頭上還鑲嵌著珍貴的珍珠，十分富麗堂皇。 但這些絹織玉幡不易保存，所以為了堅(jiān)固耐用，用石頭雕刻而成，并在幡頂刻有《佛尊勝陀羅尼經(jīng)》等真言，所以被稱為石雕。 樓形為八角形，我們所見的石刻大多為八角形。 這些一成不變的圖案，都取材于經(jīng)典。
《佛經(jīng)廣大辭典》云：“經(jīng)樓為刻有經(jīng)文的石柱，亦作石樓，通常用八角石柱，上刻佛冠。” 五河山現(xiàn)存大成殿均為八角形，用料除涌泉寺的“尊圣樓”為木雕外，均為石材。 有雙層和多層石雕，樓身多刻有《佛尊勝陀羅尼經(jīng)》文字和神像圖案。 單調(diào)的石雕降低了藝術(shù)欣賞價值。
佛光寺東配殿前有唐大中十一年（857）所刻碑。 總高2.84米，建筑外徑0.44米。 蹲著一頭獅子，獅子靠在它的脖子上，用力扶著仰蓮。 其上矗立著一尊高1.33米的八角形佛身陀羅尼經(jīng)幢，刻有《佛尊勝陀羅尼經(jīng)》及序言，其上有一比樓身還大的佛身。 圈外八角柱式華蓋，高27分，八面雕有珠飾、花環(huán)、流蘇、紅櫻花等圖案，八角飾有蝴蝶結(jié)立柱。
華蓋之上是矮小的八角樓，龕內(nèi)雕石佛，隔壁雕石。 二層樓上的寶蓋和剎頂不見了。 此樓是五合山現(xiàn)存最早的尊勝陀羅尼碑。 佛光寺文殊殿前有唐顯慶四年（877）刻碑，全高4.9米。 有一座八角經(jīng)樓，佛身八面各刻一尊偉人塑像。 樓身凈高2.08米，上覆八角形蓋板。 為尖頂八角形華蓋，上覆單層山花芭蕉葉，以桃形蓮珠為頂。
佛光寺的兩尊遼代石刻相隔20年。 它們形狀相似，都有兩層樓。 五臺縣廣濟(jì)寺大雄寶殿前矗立著一座雙層八角古石須彌座。 通高4米，下部為八角形身罩。 壽衣部分八面刻泉州。 八角形的身子，結(jié)實(shí)而結(jié)實(shí)。 周雕瓔珞、流蘇、幾何紋等圖案，寶蓋飾以雪白蓮花和寶珠。
樓頂碑文雖風(fēng)化嚴(yán)重，字跡不清，但從樓蓋造型和樓頂精湛的石雕技法來看，具有鮮明的明代藝術(shù)特色，如像彌勒菩薩穿著長褲和柔軟的校服。 貼近身體，這些“草衣出水”的技藝，盡顯工匠對身體曲線之美的深刻理解，造就如此精湛的工藝。 就連文殊菩薩、普賢菩薩所騎的獅子、大象，也是粗壯的陀羅尼經(jīng)幢，后腿粗壯。 此類雕塑體態(tài)豐滿，腰線流暢。 雕刻工藝精湛，注重寫實(shí)，生活氣息濃厚，富有鮮明的明代特色。
以上是五河山僅存的三處明代碑刻。 佛光寺大中十一年（857）碑文除缺頂外，其余兩處保存完好。
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